Прикладная физика, 2016, № 2 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 533.9…15 Параметры радиационных процессов в плазме микроволнового резонансного разряда В. В. Андреев, И. А. Волдинер, М. А. Корнеева В работе представлены результаты экспериментального исследования поведения спектральных и фотометрических характеристик излучения в оптическом диапазоне импульснопериодического микроволнового ЭЦР-разряда (2,45 ГГц, мощность до 200 Вт, давление плазмообразующего газа Ar от 1 51 10-4 до 1 10-1 Торр). <...> Показано, что регистрируемое повышение концентрации электронов вблизи верхней границы указанного диапазона давлений при неизменном уровне подводимой мощности приводит к радикальному изменению типа и спектрального состава излучения, а также к пороговому характеру увеличения светового потока. <...> Анализ зондовых и оптических измерений позволил выделить диапазон изменения рабочих условий, определяющих характер и параметры изучаемых радиационных процессов. <...> Введение Физические процессы, развивающиеся при резонансных взаимодействиях магнитоактивной плазмы с электромагнитными полями в области СВЧ-диапазона, чрезвычайно многообразны и весьма чувствительны к изменению рабочих условий. <...> Микроволновые резонансные разряды широко используется в различных вакуумноплазменных технологиях [1]. <...> Если частота СВЧполя и циклотронная частота близки, то в этом случае речь идет о разряде в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР). <...> Резонансное создание плазмы, удерживаемой внешним магнитным полем пробочной конфигурации, устраняет необходимость в применении сильных электрических полей и оказывает существенное влияние на уровень энергетических затрат, требуемых для Андреев Виктор Викторович, доцент. <...> E-mail: vvandreev@mail.ru; reewo@rambler.ru; korneevama@mail.ru Статья поступила в редакцию 14 марта 2016 г. © Андреев В. В., Волдинер И. А., Корнеева М. А., 2016 достижения высокой степени ионизации. <...> Кроме того, разряды такого типа обладают возможностью <...>