94 УДК 543.427.4 АППАРАТНЫЕ ФУНКЦИИ ПОЛИКАПИЛЛЯРНОЙ ЛИНЗЫ И КОНФОКАЛЬНОГО РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОСКОПА ПРИ ПЕРЕСТРОЙКЕ ЕГО КОНФОКАЛЬНОГО ОБЪЁМА∗ Д. С. Сороколетов, Я. В. Ракшун, Ф. А. Дарьин Институт ядерной физики им. <...> Академика Лаврентьева, 11 E-mail: rakshun@mail.ru Конфокальная схема эксперимента с двумя поликапиллярными линзами применяется для анализа приповерхностных слоёв образцов методом рентгенофлуоресцентного микроанализа с точностью до 10 мкм. <...> Для увеличения пространственного разрешения необходим учёт влияния аппаратной функции конфокального рентгенооптического узла. <...> При этом в аппаратной функции может увеличиваться вклад неточности настроек. <...> Предложен и экспериментально обоснован способ описания аппаратной функции конфокального рентгеновского микроскопа, допускающий его перестройку и учитывающий влияние ошибок угловой настройки. <...> Он основан на применении аппроксимирующего выражения типа асимметричной «каустики гауссового пучка». <...> Ключевые слова: микро-РФА, рентгеновская оптика, поликапиллярные линзы, конфокальный рентгеновский микроскоп, КРМ, аппаратная функция, обратная задача. <...> Рентгенофлуоресцентный анализ (РФА) — неразрушающий спектральный метод исследования, основанный на изучении характеристических линий излучения химических элементов, присутствующих в образце [1, с. <...> В экспериментах по исследованию элементного состава с микронным и субмикронным пространственным разрешением (микро-РФА) широко применяются элементы рентгеновской оптики. <...> Конфокальная схема эксперимента, включающая в себя две поликапиллярные линзы, применяется для анализа приповерхностных слоёв образцов с разрешением 10–50 мкм [5, 6]. <...> В приложениях микро-РФА с пространственным разрешением до 1 мкм вместо линзконцентраторов можно устанавливать другие рентгенооптические элементы [7], такие как преломляющие рентгеновские линзы или зеркала Киркпатрика — Байеса. <...> Как вариант можно использовать две поликапиллярные <...>