№ 4 Влияние атмосферы воздуха на электрические свойства двухфазных пленок гидрогенизированного кремния М. <...> Кашкаров1,2 1Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики и молекулярной электроники; кафедра полупроводников. <...> Аморфный и микрокристаллический кремний являются важными материалами для современной тонкопленочной электроники. <...> Электрические параметры кремниевых пленок в ряде случаев зависят от окружающей образцы среды, в частности воздуха. <...> В работе исследовано влияние окружающей атмосферы на электрические свойства двухфазных кремниевых пленок с объемной долей кристаллической фазы от 0 до 80%. <...> Показано, что изменение проводимости двухфазных пленок в результате их выдержки в атмосфере воздуха зависит от соотношения аморфной и микрокристаллической фаз, формирующих структуру пленок. <...> Использование двух различных технологий получения пленок позволило качественно оценить влияние на их проводимость адсорбции молекул газов из воздуха на поверхности пленок с неоднородной по толщине структурой. <...> Для образцов с малой долей кристаллической фазы, расположенной на поверхности пленок, после их выдержки в атмосфере воздуха наблюдались особенности температурной зависимости проводимости. <...> Ключевые слова: аморфный гидрогенизированный кремний, микрокристаллический гидрогенизированный кремний, протокристаллический кремний, проводимость, лазерная кристаллизация. <...> Введение Пленки аморфного (a-Si:H) и микрокристаллического (µc-Si:H) гидрогенизированного кремния широко используются в тонкопленочной электронике, в частности при создании солнечных элементов. <...> Тандемные структуры a-Si:H/µc-Si:H обладают широким спектром поглощения и улучшенной стабильностью параметров по сравнению с аморфным кремнием. <...> Основным методом получения пленок гидрогенизированного кремния является разложение газовой смеси моносилана (SiH4 ) и водорода (H2 ) в плазме <...>