Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Казанский государственный технологический университет» ПРИМЕНЕНИЕ ЭВМ ПРИ МОДЕЛИРОВАНИИ ПРОЦЕССОВ ТЕРМИЧЕСКОГО НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ Методические указания к лабораторным работам Казань КГТУ 2008 УДК 621.52 Составители: доц. <...> Т.Г. Булатова Применение ЭВМ при моделировании процессов термического напыления в вакууме: методические указания к лабораторным работам / сост. <...> Предназначены для студентов, обучающихся по специальности «Вакуумная и компрессорная техника физических установок» (15080165) очной и очно-заочной форм обучения. <...> Подготовлены на кафедре вакуумной техники электрофизических установок. <...> 3 Тема 1 ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИСПАРЕНИЯ И КОНДЕНСАЦИИ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ Процесс получения плёнок и покрытий методом испарения и конденсации в вакууме состоит из двух этапов: испарения вещества в вакууме и последующей конденсации паров на подложке. <...> Испарение различных материалов в вакууме, в том числе и металлов, происходит при нагревании до температуры плавления и испарения (сублимации), либо при распылении (методы катодного и магнетронного распыления). <...> Металлы можно нагревать резистивным методом (испарители прямонакального и косвенного нагрева), электронным лучом, электрической дугой, токами высокой частоты. <...> Способы нагрева, определяющие внутрикамерных устройств конструкции промышленных соответствующих вакуумных установок, детально описаны в инструкции по эксплуатации установок. <...> Большая часть металлов при нагреве переходит в паровую фазу через жидкое состояние, т.е. сначала они плавятся, а затем испаряются. <...> Характер распределения испаряемого вещества в пространстве над испарителем определяется двумя основными параметрами: рабочим давлением в вакуумной камере и плотностью потока испаряемых атомов и молекул. <...> Если давление паров испаряемого вещества (металла) при температуре <...>
Применение__ЭВМ__при__моделировании__процессов__термического_напыления__в__вакууме.pdf
УДК 621.52
Составители: доц. С.А.Бурцев
доц. А.В.Гаврилов
доц. Т.Г. Булатова
Применение ЭВМ при моделировании процессов термического
напыления в вакууме: методические указания к лабораторным работам /
сост.: С.А. Бурцев, А.В. Гаврилов, Т.Г. Булатова. – Казань: Изд-во Казан. гос.
технол. ун-та, 2008. – 48 c.
термическом напылении в
Изложены методики расчетов процессов, происходящих при
вакууме. Рассмотрены возможности
моделирования толщины пленки для однокомпонентных покрытий.
Предназначены для студентов, обучающихся по специальности
«Вакуумная и компрессорная техника физических установок» (15080165)
очной и очно-заочной форм обучения.
Подготовлены на кафедре вакуумной техники электрофизических
установок.
Печатаются по решению методической комиссии института
химического и нефтяного машиностроения (ИХНМ)
Рецензенты: проф. Н.Ф. Кашапов
доц. М.С. Курбангалеев
Корректор Ю.Е. Стрыхарь
Лицензия № 020404 от 6.03.97 г.
Подписано в печать 17.06.08.
Бумага писчая.
3,0 уч.-изд.л.
Печать Riso.
Тираж 100 экз.
Заказ
Формат 60х84 1/16.
2,79 усл.печ.л.
«С» 121
Издательство Казанского государственного технологического университета
Офсетная лаборатория Казанского государственного
технологического университета
420015, Казань, К.Маркса,68
Стр.2