УДК 621.382 Надежность автомобильных электронных компонентов в условиях воздействия знакопеременных нагрузок © С. <...> Н.Э. Баумана, Калуга, 248000, Россия 2 ОАО «КНИИТМУ», Калуга, 248000, Россия Обобщенный закон Гука для кремниевого монокристаллического чувствительного элемента датчиков давления автомобильной электроники показал, что при напряжениях, возникающих в чувствительных элементах датчиков в условиях реальной эксплуатации двигателей автомобилей, могут образовываться дефекты кристаллической решетки, приводящие к гистерезису свойств приборов. <...> Предложена математическая модель возникновения и изменения гистерезиса в упругих элементах датчиков микроэлектромеханических структур, используемых в автомобильной электронике. <...> Модель построена с использованием метода полиномиальной регрессии экспериментальных данных и позволяет определять надежность промышленно выпускаемых датчиков. <...> Показано, что для снижения величины температурного гистерезиса выходного сигнала интегральных датчиков давления необходимо устранить причины возникновения упругих механических напряжений в их структурах. <...> Оптимизация технологического процесса изготовления датчиков (изменение технологии формирования отверстий в стекле, на которое крепилась мембрана) позволила снизить величину гистерезиса выходного сигнала датчиков до 0,01 мВ вместо 0,07 мВ по базовой технологии. <...> Ключевые слова: датчики давления, автомобильная электроника, дефекты и гистерезис параметров, микроэлектромеханическая структура, интегральная микросхема, надежность, дислокации. <...> Одним из основных требований к любому типу автомобильных датчиков является их высокая надежность, которая определяется значениями вероятности безотказной работы до 0,99 и длительностью ресурса до 50… <...> Из нашего практического опыта и теоретических расчетов [3] известно, что надежность автомобильных датчиков в значительной мере определяется их защищенностью от возникновения <...>