Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом ПХТ…
УДК 535.421: 681.7.026.53
Технология изготовления дифракционных оптических
элементов методом плазмохимического травления
для формирования точечных эталонных изображений
© С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, А.Б. Соломашенко, Е.А. Дроздова
МГТУ им. <...> Показана возможность применения фазовых ДОЭ, имеющих двухуровневую структуру при
прямоугольном микропрофиле рабочей поверхности. <...> Подтверждены возможности изготовления ДОЭ и голограммных оптических элементов ( ГОЭ) с применением установки плазмохимического травления (ПХТ) Caroline 15 PE. <...> Определены
оптимальные режимы ПХТ для ДОЭ из щелочного стекла. <...> Установлено, что максимальная глубина рельефа ДОЭ и ГОЭ соответствует максимальной селективности травления стекла относительно материала маски. <...> При толщине хромовой
маски 100 нм достигается глубина микрорельефа до 1,4 мкм, что обеспечивает
повышение дифракционной эффективности ДОЭ и ГОЭ. <...> Относительная интенсивность света во втором порядке дифракции может составлять 30 %, что позволит создавать новые изделия микрооптики. <...> Ключевые слова: дифракция, оптический элемент, дифракционная решетка, профиль микрорельефа, глубина канавок, оптическое стекло, плазмохимическое травление, маска, селективность травления, режимы травления, дифракционная эффективность. <...> В оптотехнике [1] актуальной проблемой является
разработка оптических подсистем, обеспечивающих формирование
эталонного расположения нескольких точек в плоскости изображения на ПЗС-матрице при минимальных массогабаритных характеристиках (рис. <...> Пучок света от полупроводникового лазера 1 корректируется оптической системой 2, проходит через диафрагму, содержащую пять отверстий, и сформированные лучи, отражаясь от
зеркала 3, попадают на дифракционный оптический элемент (ДОЭ) 4. <...> При этом дифрагированные на ДОЭ лучи света попадают в зрачок
прибора 5 таким образом, что на ПЗС-матрице 6 формируется <...>