Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным…
УДК 535.51
Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ
с нормальным и брюстеровским отражениями света
© М. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерференционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и
брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного
кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который служит технической основой устройства. <...> Ключевые слова: эллипсометрия, интерферометр Майкельсона, бинарная модуляция поляризации, одноосный двумерный кристалл. <...> Эллипсометрия — перспективный метод реализации мониторинга двумерных кристаллов [1] при их синтезе и обработке в интересах
создания материалов с необходимыми для практических целей свойствами. <...> Физической основой мониторинга является исследование изменения состояния поляризации отраженного
от кристалла светового потока при каждом цикле осаждения слоев. <...> Изменение состояния поляризации описывается относительным
комплексным амплитудным коэффициентом отражения ρ∗ , равным
отношению комплексных амплитудных коэффициентов отражения
rp∗ и rs∗ для составляющих потока излучения с линейными р- и s-поляризациями [3]: <...> Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
являются основными эллипсометрическими параметрами образца [3]. <...> Методы двухпараметричности эллипсометрии (1) применяют только
для контроля прозрачных изотропных образцов, определяя всего два
его параметра: как правило, толщину и показатель преломления. <...> С их помощью измеряют в режиме in situ основные эллипсометрические параметры при различных углах падения одновременно, что позволяет контролировать более сложные
объекты, например двумерные кристаллы [4]. <...> Функциональная схема лазерного интерференционного холоэллипсометра in situ приведена на рис. <...> Оптическая схема представленного прибора основана <...>