УДК 621.52
Перспективы развития комбинированных
турбомолекулярных вакуумных насосов
© К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Для обеспечения безмасляной откачки вакуумных систем, определяемой многообразием технологических процессов, проводимых в условиях вакуума, в которых играет ведущую роль выбор средств системы откачки, в данной работе проведен
анализ основных принципов выбора высоковакуумной системы откачки в зависимости от условий эксплуатации. <...> Приведены основные конструкции современных
комбинированных (гибридных) турбомолекулярных вакуумных насосов. <...> В исследуемых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. <...> В качестве альтернативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ по сравнению с молекулярными проточными частями. <...> Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с
помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. <...> Расчетные
данные приведены для всей проточной части молекулярного вакуумного насоса с
учетом влияния зазора между статором и ротором насоса. <...> Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос, молекулярно-вязкостный вакуумный насос, вакуум, вязкостный режим течения, течение газа, винтовой канал,
геометрические параметры. <...> Соответственно встает вопрос о компоновке вакуумной системы (ВС) для технологического
процесса, чтобы она обеспечивала все требования процесса и при
этом имела минимальные энергетические и экономические затраты и,
по возможности, была простой в обслуживании. <...> Основная сложность
состоит в правильном выборе средств системы откачки. <...> В качестве основных параметров сравнения вакуумных <...>