К.Е. Демихов, А.А. Очков
МЕТОД РАСЧЕТА ОПТИМАЛЬНОЙ ОТКАЧНОЙ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО
ВАКУУМНОГО НАСОСА
Приведены результаты расчета оптимальной характеристики вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), обеспечивающего заданную быстроту откачки в широком диапазоне давлений на стороне
всасывания. <...> Представлены рекомендации по проектированию ТМН,
работающего в том числе в области сверхвысокого вакуума. <...> E-mail: kdemikhov@yandex.ru
Ключевые слова: высоковакуумный механический насос, откачная характеристика, быстрота откачки, давление всасывания,
газовыделение. <...> Турбомолекулярные насосы (ТМН) относятся к группе высоковакуумных средств откачки. <...> Среди их основных преимуществ можно
выделить относительно высокие значения быстроты откачки в достаточно широком диапазоне давлений по различным газам, практически отсутствие загрязнений откачиваемого объема органическими
соединениями и относительно малые габаритные размеры. <...> ТМН достаточно широко применяются в вакуумной технике. <...> На основании теоретических и экспериментальных исследований
создана теория процессов в рабочих полостях ТМН, проверенные
методы расчетов их оптимальных параметров, разработана и внедрена отечественная система автоматизированного проектирования
высоковакуумных механических насосов (к ним относятся и ТМН). <...> Значительный вклад в развитие и разработки внесли исследования,
выполненные в МГТУ им. <...> В современных условиях весьма актуальным требованием,
предъявляемым к разработке перспективных средств откачки, является оптимизация их основных параметров. <...> Разработанные методы
расчета ТМН [1, 2] позволяют определять оптимальные характеристики для заданных параметров откачки – быстроты откачки Sн и
давления p газа на стороне всасывания. <...> Как показали результаты расчетов, при изменении текущего значения p оптимальные параметры
ТМН также изменяются. <...> Это связано с тем, что, например, при увеличении p в проточной части насоса <...>