С в и ч к а р ь
ТЕЧЕНИЕ ГАЗА В СПИРАЛЬНОМ КАНАЛЕ
МОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
Приведены исследования течения газа в проточной части молекулярного вакуумного насоса (МВН) в вязкостном режиме течения газа. <...> Проведен выбор и обоснование метода расчета МВН. <...> E-mail: nkn@bmstu.ru, svic@bk.ru
Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос, вакуум, вязкостный режим течения, течение газа, спиральный канал, перепад давления, годограф скоростей, геометрические параметры. <...> В современных турбомолекулярных насосах (ТМН) в качестве
форвакуумных ступеней устанавливают молекулярные ступени. <...> При этом возможно достижение форвакуумного давления порядка
1·103 Па, а также сохранение безмасляности системы. <...> Однако небольшая быстрота действия и высокая точность изготовления ограничивают возможность использования таких молекулярных вакуумных насосов (МВН) в качестве самостоятельных средств откачки. <...> Результаты анализа теоретических и экспериментальных исследований МВН показали, что одним из основных факторов, ограничивающих повышение их откачных параметров, является перетекание газа
через радиальный зазор между ротором и статором (для схемы МВН
Геде – отсекателем) насоса. <...> Для уменьшения перетекания газа через
зазор проточной части, т. е. для уменьшения обратного потока, зазор
между статором и ротором выполняют порядка 1·10–2 мм, а кромку
между каналами делают максимально широкой. <...> В качестве форвакуумных ступеней можно использовать молекулярно-вязкостную проточную часть [1–6] с зазором порядка 0,1 мм, обладающую большей
быстротой действия по сравнению с молекулярной проточной частью. <...> При этом возможно получение форвакуумного давления не менее 1·103 Па, а в определенных конструкциях даже 1·105 Па. <...> Молекулярно-вязкостный вакуумный насос является аналогом молекулярного насоса Хольвека [1–6]. <...> Поэтому для создания и отработки математической модели молекулярно-вязкостной проточной части насоса с
помощью программных пакетов гидрогазодинамики <...>