Д р о н о в
РАСЧЕТ ОТКАЧНЫХ ПАРАМЕТРОВ
МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНОГО ВАКУУМНОГО
НАСОСА
Рассмотрено влияние основных параметров проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса на его откачные характеристики при работе в области молекулярного режима течения газа. <...> На основании расчета по статистической математической модели
представлены рекомендации для обеспечения необходимых геометрических параметров проточной части. <...> Е-mail: nkn@bmstu.ru, dronov_a@mail.ru
Ключевые слова: молекулярно-вязкостный вакуумный насос, метод статистических испытаний, геометрические параметры,
вероятность, максимальное быстродействие, отношение давлений, рекомендации, канал. <...> Основными параметрами, характеризующими работу молекулярных вакуумных насосов (МВН), являются максимальная быстрота
действия Smax и максимальное отношение давлений τmax:
Smax = 36,4 Fkmax T M ;
τ max = k12 k21 ,
где F – площадь входа в канал, м2; kmax – максимальная вероятность
перехода молекулы газа через канал со стороны всасывания на сторону нагнетания, kmax = k12 – k21; k12, k21 – вероятности перехода молекулы газа через канал соответственно со стороны всасывания на
сторону нагнетания и со стороны нагнетания на сторону всасывания;
T – температура газа, K; M – молекулярная масса газа. <...> Приведенные соотношения описывают и работу молекулярновязкостного вакуумного насоса (МВВН). <...> Основное отличие МВВН
заключается в конструкции его проточной части, выполненной в виде
двух спиральных каналов: одна спираль размещена на роторе, другая –
на статоре. <...> Конструктивные схемы проточных частей МВВН представлены на рис. <...> Вероятности k12 и k21 для молекулярного режима течения газа вычисляются на основании математических моделей, приведенных в
работах [1, 2]. <...> Конструктивные схемы МВН:
а – насос Геде (1 – отсекатель; 2 – всасывающий патрубок; 3 – нагнетательный патрубок; 4 – корпус; 5 – ротор; 6 – опоры качения); б – насос Зигбана (1 – всасывающий патрубок; 2, 3 – левый и правый корпуса насоса; 4 – вход <...>