Ш у п е н е в
ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ
СУБМИКРОННЫХ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИДА
ВИСМУТА МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО
ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Использование наноразмерных термоэлектрических структур —
перспективное направление развития конструкций термоэлектрических модулей. <...> Тонкопленочные структуры теллурида висмута были
получены в МГТУ им. <...> Проанализированы толщины и поверхности осажденных
при различных режимах структур теллурида висмута. <...> Приведена зависимость толщины осажденного слоя от температуры нагревателя и энергетических параметров лазерного излучения. <...> Даны общие
оценки стехиометрической однородности пленок в зависимости от
режимов осаждения. <...> E-mail: alexnomaster@mail.ru, amisiurov@yahoo.com
Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, теллурид висмута,
модуль Пельтье, термоэлектричество, наноструктуры. <...> Современные тенденции миниатюризации в электронике и технике приводят к необходимости поиска новых способов обеспечения
эффективного теплоотвода нагревающихся элементов конструкции,
предъявляя все более жесткие технологические ограничения для конструкций теплообменников. <...> Эффект Пельтье (1834), заключающийся
в выделении или поглощении теплоты при прохождении электрического тока в месте контакта (спая) двух разнородных проводников,
позволил создать термоэлектрические модули, применяемые в настоящее время во многих областях техники и электроники. <...> Однако возникает вопрос о повышении термоэлектрической эффективности работы подобных модулей. <...> Полупроводниковые материалы на основе теллурида висмута
(Bi2Te3) широко используются в термоэлектрических преобразователях
энергии, холодильниках, термостатах благодаря высоким значениям
термоэлектрической эффективности [1]. <...> Интерес к тонким и сверхтонким
пленкам указанных полупроводников обусловлен перспективами создания миниатюрных устройств с более высокими функциональными
возможностями. <...> Получение тонких пленок теллурида
висмута традиционным методом термического <...>