Г. Г р и г о р ь я н ц
ТЕХНОЛОГИЯ БЕСКАЛИБРОВОЧНОЙ
ЛАЗЕРНОЙ ФОТОТЕРМИЧЕСКОЙ
ДИАГНОСТИКИ ТОНКИХ СЛОЕВ И ПОКРЫТИЙ
Рассмотрены вопросы измерения толщины слоя или покрытия с неизвестными характеристиками. <...> Разработана теоретическая методика, позволяющая определять абсолютную толщину слоя в пределах
50…1000 мкм. <...> Проведены эксперименты, подтверждающие реализуемость методики с погрешностью измерений 10…15 %. <...> Большинство методик неразрушающей диагностики,
используемых для определения размерных характеристик исследуемого объекта, требуют знания свойств материала или предварительной
калибровки на идентичный материал [1]. <...> В связи с этим разработка методики, не требующей знания свойств материала, позволяет расширить
возможности неразрушающей диагностики и является актуальной
научно-технической задачей. <...> Еще одним важным аспектом в области неразрушающей диагностики следует назвать контактный или требующий нахождения в
ближнем поле характер измерений наиболее распространенных методов (ультразвук, вихретоковый и др.) <...> Рассматриваемая в статье лазерная фототермическая техника
позволяет решить изложенные выше проблемы. <...> Для нагрева объекта применяется
лазерное излучение с переменным диаметром пучка на поверхности
объекта и модулированной выходной мощностью. <...> Фотодетектор,
чувствительный в инфракрасном (ИК) диапазоне, регистрирует тепловое излучение в центре пятна нагрева, зависящее от свойств и
структуры материала и режима нагрева. <...> Таким образом, принципиально фототермическая техника позволяет
осуществлять полностью бесконтактную и дистанционную диагностику в вакууме и через любые прозрачные препятствия, что качественно отличает ее от неразрушающей диагностики [2]. <...> 2012
Наиболее часто рассматривается проблема определения одной
или нескольких характеристик однородного слоя на поверхности однородного тела [3]. <...> Общий недостаток существующих теоретических
методик фототермической диагностики <...>