Е. Г. Зубков, А. А. Поляков
МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ
В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ
ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Аннотация. <...> Во многих современных технологиях обработки (модификации поверхности) материалов используется лазерное излучение (лазерное легирование, отжиг, термообработка, нанесение покрытий
и т.д.) <...> . Известно, что при воздействии внешних потоков энергии (лазерного
излучения или пучков частиц) на поверхность твердых тел в них происходят
структурные и морфологические перестройки. <...> Изучение этих структурных
трансформаций и результирующей модификации свойств твердых тел является одной из актуальных задач современной физики. <...> Результаты этих исследований важны для прикладных проблем лучевой стойкости материалов и деградации оптоэлектронных приборов в процессе их эксплуатации и под действием лазерного излучения и т.д. <...> Поэтому целью данной работы является исследование кинетики образования дислокаций при лазерном отжиге, а также моделирование термоупругих напряжений в монокристаллах кремния. <...> Сравнение полученных теоретических результатов проведено с
экспериментальными данными по зависимости термоупругих напряжений по
поверхности р- и n-кремния от диаметра кратера. <...> Для решения задачи распределения температуры по поверхности образца использовалась нестационарная
модель теплопереноса. <...> Решение данной модели было получено численным
моделированием в программе «ELCUT 5.8». <...> Плоские термонапряжения в монокристаллическом кремнии, возникающие при лазерном воздействии, получены при помощи термоупругой модели, связанной с задачей температурного
распределения. <...> При моделировании рассчитывались только плоские температурные деформации для изотропного материала. <...> Исследовано
образование и поведение дислокаций в монокристаллах кремния n- и p-типа
при лазерном воздействии. <...> Представлена зависимость температуры и термоупругих напряжений по поверхности р- и n-кремния от величины <...>