И. А. Аверин, И. А. Губич
АНАЛИЗ МОДЕЛЕЙ ФОРМИРОВАНИЯ И УПОРЯДОЧЕНИЯ
ПОРИСТОЙ СТРУКТУРЫ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ1
Аннотация. <...> Принцип действия приборов наноэлектроники в основном базируется на поверхностных эффектах, что обусловливает интенсивное использование для их создания материалов с развитой поверхностью, к каким относится
пористый оксид алюминия. <...> Проанализированы основные модели формирования
гексагонально-упорядоченной структуры оксида алюминия: физико-геометрическая; коллоидно-электрохимическая; плазменная и механических напряжений. <...> Исследованы функциональные зависимости влияния условий формирования методом анодирования на параметры морфоструктуры пористого оксида алюминия, включающие диаметры пор и оксидных ячеек. <...> Это позволило
выбрать модель образования упорядоченной структуры оксида алюминия
с учетом режимов формирования и физико-химических основ порообразования для метода анодирования. <...> Ключевые слова: пористый оксид алюминия, модели формирования, наноматериалы, упорядоченность, пора, оксидная пленка, режимы формирования,
электролит. <...> Gubich
ANALYSIS OF FORMATION AND ORDERING MODELS OF
ALUMINUM OXIDE’S POROUS STRUCTURE
Abstract. <...> Action concept of devices in microelectronics is generally based on surface effects, and that stipulates in the process of their production the intensive use of
materials with developed surface, such as porous aluminum oxide. <...> However up to
date there is still no universal theory explaining the development under various formation conditions of ordered oxide structure on aluminum, that determines the output parameters of nanoelectronic devices. <...> The authors analyzed the main formation
models of the hexagonally ordered structure of aluminum oxide: physicgeometrical; colloid-electrochemical; plasma and the model of mechanical stress. <...> The researchers also studied functional dependencies of the influence of formation
conditions by anodization on the parameters of porous aluminum oxide morphostructure, including the diameters of pores and oxide cells. <...> This allows to select the
formation model of the ordered aluminum oxide structure regarding the modes <...>