УДК 539.3 А.С. Усеинов, К.В. Гоголинский, В.Н. Решетов ИЗМЕРЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СВЕРХТВЕРДЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, г. Троицк) e-mail: useinov@mail.ru Алмазоподобные углеродные пленки активно применяются в качестве защитных и износостойких покрытий для широкого спектра объектов. <...> Корректное измерение механических свойств таких пленок без влияния подложки является актуальной задачей в современных системах контроля качества изделий. <...> В данной работе приведены результаты измерения твердости алмазоподобных пленок различными методами для широкого диапазона толщин. <...> Показано, что измеренное значение не зависит от толщины пленки, то есть получено без влияния подложки. <...> Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, твердость, механические свойства, наноиндентирование, склерометрия ВВЕДЕНИЕ Благодаря своим исключительным свойствам алмазоподобные углеродные (diamond-like carbon, DLC) покрытия предоставляют широкий спектр возможностей для создания на их основе устройств самого разного назначения, включая высокотемпературную электронику, микроволновые устройства высокой мощности и микроэлектромеханические системы (МЭМС), требующие использования широкозонных полупроводников с высокой мобильностью и низким коэффициентом температурного расширения [1, 2]. <...> Благодаря высокому пропусканию, в ИК спектре DLC покрытия идеально подходят для создания защитных и противоотражающих покрытий для оптических элементов (линз, окон для датчиков излучения, СО2 лазеров) [3]. <...> Кроме того, преимущество использования DLC покрытий для гибких оптоэлектронных устройств заключается в их биосовместимости и коррозионной стойкости [4]. <...> Определенный интерес для самоочищающихся поверхностей солнечных элементов представляют сверхтонкие DLC слои с высокой адгезией, обладающие низким коэффициентом трения и обеспечивающие защиту от износа. <...> Наиболее распространенным <...>