Лишь дифенилацетилен, размер длинной оси молекулы которого больше, обладает меньшей подвижностью. <...> Таблица 2 Сравнительная характеристика вращательной подвижности молекул ароматических соединений Table 2. <...> Структурно-динамические свойства сложных молекулярных систем, включая биологические // Аннотированный отчет о научно-исследовательской работе за 2005 год. <...> УДК 537.525 А.А. Смирнов, А.М. Ефремов, В.И. Светцов КИНЕТИЧЕСКИЕ И ТРАНСПОРТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОЦЕССОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО УДАРА В HBr (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Сформирован набор сечений процессов под действием электронного удара для молекулы HBr. <...> Проведены расчеты функции распределения электронов по энергиям, транспортных характеристик электронов и констант скоростей процессов при электронном ударе при решении стационарного кинетического уравнения Больцмана в однокомпонентном приближении. <...> Ключевые слова: сечения соударения, электронный удар, функция распределения электронов по энергиям, бромистый водород ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная газоразрядная плазма галогенсодержащих газов нашла широкое применение в технологии микро- и наноэлектроники при проведении процессов «сухого» травления полупроводниковых пластин и функциональных слоев в тех случаях, когда жидкостные методы не удовлетворяют требованиям по чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1]. <...> В последнее время большое внимание специалистов в области плазмохимической технологии уделяется галогенводородам HX (X = F, Cl, Br, I). <...> Положительными качествами этих газов являются отсут48 ствие полимеризационных явлений, более низкие, по сравнению с плазмой молекулярных галогенов, степени диссоциации, что дает преимущество в анизотропии и селективности процесса при незначительной потере в скорости травления, а также лучшая равномерность и чистота процесса, достигаемые за счет химических реакций атомов водорода <...>