X O OO[exp( 12 - 2 22 * = ¢ + где X - максимальное количество прореагироX * O 2 вавшего кислорода на поверхности кремния. <...> Таблица Кинетические параметры процесса очистки поверхности полупроводникового кремния Table. <...> Что касается константы скорости расходования кислорода k2, то она зависит от природы восстановителей на поверхности кремния. <...> Предельная концентрация расхода кислорода X зависит от количества восстановителей на поверхности, а * O 2 Кафедра физической и аналитической химии kk X kk- Ч - -Ч )], (2) Ч k1 21 ) exp( фоновый расход кислорода X является посто' O 2 янной величиной и составляет 1 мг/л. <...> Представленную модель подтверждают и результаты исследования поверхности кремния методом вторичной ионной масс-спектрометрии [9]. <...> О механизме процесса очистки поверхности кремния от кремний-органики в активированных растворах серной кислоты. <...> Растворители и эффект среды в органической химии. <...> УДК 621.79.025.3 М.Г. Донцов, А.В. Балмасов, Н.В. Семенова ХИМИЧЕСКОЕ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ МЕДИ – СХОДСТВА И РАЗЛИЧИЯ. <...> ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: ket712@isuct.ru Изучены физико-химические свойства поверхностных слоев, образующихся при электрохимическом и химическом полировании меди в растворах на основе ортофосфорной кислоты. <...> Показано, что наряду с замедленным массопереносом в растворе существенное влияние на достижение эффекта полирования оказывают свойства поверхностных фазовых слоев. <...> При электрохимическом и химическом полировании металлов на поверхности образуются оксидные и оксидно-солевые пленки [1-3]. <...> Фор54 мирование на металле этих пленок приводит к усилению торможения массопереноса через поверхностный слой, что способствует блескообразоХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2008 том 51 вып. <...> 12 tt ванию и сглаживанию субмикронеровностей при электрохимическом и химическом полировании. <...> Поверхностные оксидные слои могут иметь различную природу. <...> При формировании сплошной <...>