УДК 537.525 С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев, А. М. Ефремов, В. И. Светцов КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование кинетики плазменного травления алюминия в хлоре. <...> Получены данные по стационарному составу плазмы и потокам активных частиц на поверхность. <...> Показано, что процесс травления протекает в кинетическом режиме и имеет первый кинетический порядок по концентрации активных частиц. <...> В диапазоне температур 393–543 К реализуются два режима травления, обусловленные изменением типа доминирующего продукта реакции. <...> ВВЕДЕНИЕ Интенсивное развитие технологии микроэлектроники и переход к производству ИМС с субмикронными размерами элементов обусловливают необходимость оптимизации процессов размерного травления. <...> Одним из ключевых процессов является травление тонких пленок Al для создания межэлементных соединений в кремниевых ИМС [1, 2]. <...> Исторически первым для травления Al был разработан жидкостной процесс на основе смеси HNO3 и H3PO4, обеспечивающий высокие скорости, но низкую анизотропию, разрешение и воспроизводимость травления [1]. <...> После перехода к «сухим» (вакуумно-плазменным) технологиям в качестве плазмообразующих сред для травления Al традиционно использовались CCl4, BCl3 и SiCl4, приводящие к полимеризации и/или высаживанию продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала [2, 3]. <...> От этих недостатков свободен молекулярный хлор, поэтому его применение для травления Al является весьма перспективным. <...> Решение этой задачи требует одновременного исследования брутто характеристик гетерогенного взаимодействия и стационарного состава плазмы, определяющего потоки активных частиц на поверхность. <...> МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ И РАСЧЕТОВ Для исследования кинетики травления Al в условиях тлеющего разряда постоянного тока использовался цилиндрический <...>