Т 51 (10) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2008 УДК 621.382:537.525 А.Н. Иванов, С.А. Смирнов, В.В. Рыбкин ВЛИЯНИЕ СОСТАВА ГАЗА НА КИНЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОНОВ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ СМЕСИ Ar-O2 (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: rybkin@isuct.ru На основе решения уравнения Больцмана и измеренных приведенных напряженностей электрических полей проведены расчеты функций распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) и кинетических характеристик электронов для плазмы разряда постоянного тока в смеси Ar-O2. <...> Показано, что при заданном токе разряда и давлении увеличение содержания кислорода приводит к уменьшению концентрации электронов и экстремальной зависимости констант скоростей процессов с участием электронов. <...> Смеси аргона с кислородом в качестве плазмообразующего газа интересны как для технологических приложений, так и для научных целей. <...> В частности они применяются для изменения свойств поверхности полимерных материалов [1], а также с малыми добавками металлорганических соединений - для получения наноразмерных окисных пленок, используемых как газовые сенсоры, которые обеспечивают поверхностную проводимость диэлектриков [2,3]. <...> Инициирование процессов образования активных частиц в плазме происходит под действием электронного удара. <...> Для их оптимизации необходимы сведения о ФРЭЭ, которая в условиях плазмы является неравновесной, не максвелловской. <...> Неравновесная ФРЭЭ зависит как от приведенных напряженностей электрических полей E/N, реализующихся в плазме, так и от состава газа. <...> Выяснению вопроса о влиянии этих параметров на вид ФРЭЭ и посвящена данная работа. <...> Плазма разряда постоянного тока создавалась в стеклянном цилиндрическом проточном реакторе внутренним диаметром 3 см. Диапазон давлений составлял 50-300 Па, а токов разряда - 20-80 мА. <...> Напряженность продольного электрического поля Е измерялась двухзондовым методом. <...> Температура <...>