УДК 537.525 А.М. Ефремов, А.И. Изгородин, В.С. Оченков, В.И. Светцов ВЛИЯНИЕ СОСТАВА СМЕСИ ХЛОР-ВОДОРОД НА ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование влияния начального состава смеси Cl2/H2 на интенсивности излучения и концентрации активных частиц плазмы. <...> Показано, что варьирование состава смеси приводит к изменению условий возбуждения частиц (константы скорости возбуждения exk , концентрации электронов e ности I Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма бинарных смесей хлора с инертными и молекулярными газами применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев интегральных микросхем. <...> Использование водорода в качестве второго компонента смеси позволяет достигать специфических эффектов при травлении ряда материалов, которые не достижимы в плазме чистого Cl2. <...> В частности, добавка водорода к хлору позволяет получать полирующее травление полупроводников группы А3В5 [1,2] при незначительной потере скорости процесса. <...> Таким образом, начальный состав смеси представляет собой эффективный механизм регулирования конечного результата обработки. <...> Поэтому целью данной работы являлось исследование кинетики и состава активных частиц в плазме смесей хлор - водород методом эмиссионной спектроскопии. <...> Для экспериментального исследования спектров излучения плазмы в смесях Cl2/H2 в условиях тлеющего разряда постоянного тока использовался цилиндрический проточный плазмохимический реактор (внутренний диаметр 2,1 см, длина зоны разряда 49 см), изготовленный из стекла С - 49. <...> Для получения хлора применялся метод термического разло34 n ), при этом приведенные интенсивI k nex e адекватно отражают характер изменения концентраций соответвующих частиц. <...> Исследована возможность контроля относительных изменений <...>