МГТУ им. Н.Э. Баумана. Радиотехника. Приборостроение. Электроника. Электротехника. Робототехника. Лазерная техника. Оптические системы. 2023. (АРХИВ)

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.