Ю.В. Федотов
ЛАЗЕРНЫЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКИЙ
МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ
И ХАРАКТЕРИСТИК РОСТА НАНОПЛЕНОК
ЗОЛОТА НА КВАРЦЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ
В ПРОЦЕССЕ ИХ НАПЫЛЕНИЯ
Описан лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и характеристик роста пленок металлов на диэлектрической
подложке в процессе их напыления, основанный на измерении коэффициентов отражения в разные моменты времени и определении неизвестных значений толщины и характеристик роста пленки путем численного решения нелинейных уравнений. <...> Математическое моделирование показывает, что для диапазона толщин
5…50 нм при измерениях на длине волны 515 нм толщина пленки
золота и параметры ее роста могут быть восстановлены со
среднеквадратической погрешностью меньше 0,5 и 8 % соответственно при среднеквадратическом значении шума 1 %. <...> E-mail: ekomonit@bmstu.ru
Ключевые слова: лазер, измерение толщины пленки, измерение характеристик роста пленки, рефлектометрический метод, пленка золота,
кварцевая подложка. <...> Создание упорядоченных металлических наноструктур и контроль их параметров — сложная технологическая задача. <...> Первым
технологическим этапом при этом является напыление тонкого металлического покрытия на диэлектрическую подложку. <...> В качестве диэлектрической подложки применяется кварц вследствие высокого коэффициента пропускания и
отсутствия дисперсии диэлектрической проницаемости в видимом и
ближнем инфракрасном диапазонах. <...> Перспективным методом контроля толщины тонких металлических пленок непосредственно в процессе их получения (in situ-метод)
является лазерный рефлектометрический метод [2—6]. <...> Он обладает
практически всеми положительными качествами метода рентгеновской рефлектометрии, потенциально может быть реализован в виде
менее сложного (а значит, и менее дорогого) оборудования и вполне
может быть использован для измерения пленок золота толщиной от
единиц до десятков нанометров [7]. <...> 2012
99
Однако метод, приведенный в работе [7], позволяет <...>